Espectroscopia de massa de plasma acoplado por indução (ICP-MS) é uma nova técnica de análise de elementos inorgânicos e isótopos que detecta rapidamente e simultaneamente quase todos os elementos da tabela periódica. A tecnologia ICP-MS supera as técnicas analíticas inorgânicas tradicionais, como a tecnologia de espectroscopia de plasma acoplado por indução (ICPAES), a absorção de átomos de forno de grafite (GFAAS) e a tecnologia de absorção de átomos frios de mercúrio (CVAAS), juntas, e é conhecida como o desenvolvimento mais emocionante da tecnologia analítica contemporânea.

As áreas de aplicação da tecnologia Agilent ICP-MS incluem:
Análise de amostras ambientais, incluindo água da torneira, água de superfície, água subterrânea, água do mar e vários solos, resíduos, etc.;
Análise de materiais semicondutores
• Análise de amostras de vidro, cerâmica e mineraria;
• Pesquisa geológica;
• Pesquisa clínica de bioalimentos e medicamentos;
• Análise de materiais nucleares
• Análise de amostras petroquímicas;
• Aplicações e pesquisa forense;
Recentemente, com a tecnologia de separação para toxicidade ambiental, ciências da vida e outras áreas de valor elementar, análise morfológica tornou-se um foco da aplicação da tecnologia ICP-MS.
Características analíticas do ICP-MS:
Detecção rápida e simultânea de quase todos os elementos da tabela periódica
Limite mínimo de detecção (até o nível ppq)
• Melhor relação benefício/custo
A gama dinâmica linear mais ampla – detecção direta de concentrações de ppq a centenas de ppm
Linha espectral mais simples, interferência mínima, precisão e precisão
Necessidade de volume de amostra muito baixo (ul a ml), velocidade de análise rápida (1 a 3 minutos / amostra)
• Modelos de detecção flexíveis
Análise de poluentes ultra-traços em materiais comuns na indústria de semicondutores:
Sólidos: Si; GaAa monocristal; Quartzo, carboneto de silício e outros materiais de forno; Elétrodos metálicos de alta pureza
líquido: água ultra-pura; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amônia etc.
gás: SiH4; TE0S; NF3; N2 e outros
O Agilent ICP-MS analisa amostras orgânicas diretamente:
A tecnologia de plasma recto-frio de blindagem de alta potência e de alta eficiência da Agilent ICP-MS foi usada para medir elementos poluentes de traço de nível ppt em uma série de amostras orgânicas.
● Para algumas dessas amostras, outros métodos não podem obter resultados satisfatórios, e a tecnologia de plasma reticulado de blindagem de alta potência é o único método de análise.
• Detergente de limpeza altamente alcalino - tetra-metilhidróxido de amônia (TMAH), etc.
● Solvente orgânico comumente usado - metafenilo, metafenilo, IPA, etc.
● Amostras de alta matriz - fotogravura, cristal líquido, BPSG, PSG e outros agentes de limpeza extremamente voláteis - acetona, metanol, etc.