Em muitas aplicações de gás ultrapuro, como a indústria de semicondutores, a umidade residual no gás é essencial para o funcionamento correto do processamento. O rastreamento contínuo da umidade tem sido um problema que exige analisadores de umidade sofisticados ou técnicas de análise caras. No entanto, o MISSELL está atualmente lançando no mercado uma solução simples, econômica e bastante eficaz para medir o ponto de orvalho on-line com limites inferiores de -120°C (o equivalente a menos de 1 ppb).O V). O Pura Transmitter é o primeiro transmissor de baixo preço para a indústria de fabricação de semicondutores e aplicações de gás ultrapuro, baseado em muitos anos de experiência em fabricação e calibração de sensores de ponto de orvalho de impedância com instrumentos MISSELL. Destaques Limite inferior de medição -120°C ponto de orvalho (1 ppb)O V) Medição estável e boa repetibilidade Dispositivo de amostragem altamente integrado Saídas analógicas e digitais Instalação Fácil Interface de processo VCR Design compacto e pequeno Unidade de exibição/alarme opcional
Indicadores técnicos
Sensores Tipo de sensor Sensor de umidade de cerâmica Dimensão -120 ~ -40°C ponto de orvalho (verificado até -100 ~ -40°C) Precisão ±1°C -40 ~ -60°C; ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C; ±4°C -101 ~ -120°C (estimação) Resolução 0,1 ° C -40 ~ -79,9 ° C; 1 ° C -80 ~ -100 ° C; 1 ~ 3 ° C -100 ~ -120 ° C Pressão mínimo 10-9 torr; Máximo 24 MPa Fluxo de gás 1 ~ 5 Nl / min eletricidade fonte de alimentação Normalmente 24 V DC, mínimo 10 V até máximo 28 V, corrente máxima 25 mA Saída Saída de 4-20 mA, faixa de correspondência ajustável por software dedicado, escala de ajuste de 1 a 80°C (disponível como padrão) Carga máxima = 100 Ω + 50 Ω x (alimentação V -8) Erro de saída A mensagem de erro de saída padrão é a seguinte: 23 mA = falha do sensor; 20 mA = limite superior; 4 mA = limite inferior Propriedades mecânicas Capa do sensor Aço inoxidável, polimento interno de galvanização de 0,1-0,2 Ra µm Porta de conexão de vias de ar Tipo Premium ou OEM: interface VCR de ¼' m Pura Sensor: Interface de VCR de ½' m Configuração da instalação Tipo Premium ou OEM: comprimento de 120,00 mm, vedação final para portas de vias de ar. Não é necessário reservar espaços em tubos 2 orifícios de montagem M4 x 0,7, 7 mm de profundidade na base, com uma distância de 20 x 20 mm Tipo Pura Sensor: adequado para a porta ½' VCR fornecida pelo usuário Dimensões Modelo Premium ou OEM: 120 x 35 x 150 mm Sensor Pura 型: 132 x 35 milímetros Peso Modelo Premium ou OEM: 450g Sensor Pura 型: 180g embalagem Pura: Embalagem de duas camadas, vedação de enchimento de gás inerte Pura OEM ou Pura Sensor: embalagem de camada única Todos os acessórios opcionais: embalagem independente O tipo Sensor possui uma caixa de proteção na extremidade do chip de sensor para transporte e operação