O silão é um novo material importante, amplamente utilizado em tela plana LCD, semicondutores, energia solar e outras indústrias, com o desenvolvimento de semicondutores e outras indústrias da China, a demanda nacional por silão está crescendo, mas como a tecnologia de produção de silão doméstica está em estágio inicial, como analisar a pureza do silão é um tema que cada fabricante precisa enfrentar.
Como é bem conhecido, a análise de gases de alta pureza é um processo complexo e uma das dificuldades da análise cromatográfica; Devido à especificidade de suas propriedades físicas, a dificuldade de análise pode ser complicada, e não só requer um detector altamente sensível, mas também resolve o problema da queima de oxigênio.GC-9560-HG cromatográfica de gás ionizado de hélioPara superar as inúmeras dificuldades técnicas no processo de análise de silicano, o uso de um detector de ionização de hélio de alta sensibilidade, equipado com um sistema de amostragem de silicano dedicado, completou bem a análise de impurezas de grau ppb em traços de silicano.

Critérios aplicáveis:

• GB/T 15909-2009 - Gás para a indústria eletrônica

GC-9560-HG Criométrico de fase de análise de sílano de hélio ionizadoAdequado para a detecção de impurezas em gases de alta pureza e gases industriais eletrônicos, a concentração de detecção de zui pequena pode chegar a 5ppb. O instrumento é equipado com um detector de ionização de hélio altamente sensível, usando a tecnologia de corte central da Huaei Inc.*, e as válvulas de entrada de amostras são equipadas com válvulas de importação com vias de proteção de sopro; A máquina inteira é projetada com múltiplas colunas, diferentes colunas cromatográficas podem ser controladas separadamente, zui otimiza as condições de separação e facilita o tratamento de envelhecimento de diferentes colunas cromatográficas para facilitar a manutenção do instrumento; O instrumento está equipado com um sistema de correção automática da pressão de amostragem para superar os erros de análise causados ​​por diferentes gases de base devido a diferentes pesos moleculares.

Um,GC-9560-HG Criométrico de fase de análise de sílano de hélio ionizadoVantagens de desempenho:
A indústria de gás é a indústria básica da economia nacional, é o "sangue" da produção industrial, e com o rápido desenvolvimento da economia nacional, a demanda por gás de alta pureza e gás para a indústria eletrônica também está crescendo rapidamente. A detecção de traços de impurezas é um elemento fundamental para a produção de gás de alta pureza e gás da indústria eletrônica, e a análise de traços de impurezas tem sido a dificuldade da análise cromatográfica, e os detectores cromatográficos tradicionais como a condução térmica não são capazes de analisar gás de alta pureza.
O detector de ionização de hélio por descarga de pulso (PDHID) é um detector universal de alta sensibilidade, com alta resposta a quase todos os compostos inorgânicos e orgânicos, especialmente adequado para a análise de gases de alta pureza e capaz de detectar até o nível ng / g (ppb). O novo padrão nacional estabelece que o uso de detectores de ionização de hélio para substituir os detectores originais de condução térmica e outros, o padrão nacional "Análise de gás de cromatografia de gás ionizada de hélio" da cromatografia da Huaei assumiu a principal tarefa de redação também está sendo desenvolvido e em breve será oficialmente anunciado e implementado.

PDHID Limite de Detecção de Impuridades de Gás em Silano (ppb)

Dois.GC-9560-HGConfiguração do sistema:

(1) GC-9560-HG Chromatográfico de fase de ionização de hélio (2) Detector de ionização de hélio (PDHID)

(3) Sistema de corte central (4) Sistema eletrônico de amostragem de gás

(5) Sistema de adsorção e redução de oxigênio (6) Purificador de hélio

(7) Válvula de redução de pressão específica para transporte de gás (8) Válvula de amostragem específica para volume sem morte
(9)Filtro de gás transportador (10)Filtro de amostra

(11) Colunas cromatográficas (12) Gás padrão
(13) Hélio de alta pureza (pureza > 99,999%) (14) GC-9560V4.0 versão de cromatografia contra controle

• Tecnologia de corte central para a análise completa do gás:
  O GC-9560-HG é um cromatográfico de gás iónico de hélio que usa uma tecnologia de corte e contrasopro central de várias válvulas e colunas, que consiste em várias válvulas de sopro de 10 vias e uma cromatografia de várias raizes para controlar automaticamente seus processos de amostragem, troca, corte e contrasopro através de um programa de tempo definido pela estação de trabalho.

• Válvula de sopro de 10 vias
  GC-9560-HGEquipado com uma válvula de sopro de dez vias com vias de ar protegidas produzidas pela VICI importada original, o plano da válvula está sempre na atmosfera de transporte de gás, evitando a penetração de ar na amostra durante a entrada e a troca, melhorando significativamente a sensibilidade e a precisão da detecção.
• Tecnologia de coluna cromatográfica com processamento especial
  (1) O tubo de coluna cromatográfica usa material de aço inoxidável 316L, e as paredes internas do tubo são tratadas com passivação para evitar problemas como adsorção e atraso de monóxido de carbono.
  (2) os portadores de colunas cromatográficas são tratados especialmente para evitar a geração de problemas como a adsorção de oxigênio
  (3) a coluna pré-corte adota a cromatografia Huaei para obter a tecnologia de coluna de enchimento em miniatura do país, melhorando totalmente a separação da amostra, considerando a separação, a estabilidade e a rapidez

• Sistema de separação de caixas múltiplas
  A variedade de formas de amostras de gás e a variedade de impurezas requerem várias colunas cromatográficas diferentes para completar a separação de todas as impurezas na amostra de gás. Como as temperaturas optimais de funcionamento de diferentes colunas cromatográficas diferem, é difícil encontrar temperaturas optimais de funcionamento de diferentes colunas cromatográficas na mesma caixa de colunas. O GC-9560-HG tem um design de caixa multi-coluna para resolver eficazmente os problemas de diferentes colunas cromatográficas que exigem diferentes temperaturas de funcionamento.
  Na manutenção diária do instrumento, como a temperatura de ativação das colunas cromatográficas de diferentes veículos, como a peneira molecular 5A, varia, se o envelhecimento na mesma caixa de colunas exigir que a coluna cromatográfica intolerável às altas temperaturas seja removida e ativada separadamente. O design de caixa múltipla do GC-9560-HG resolve os problemas acima de forma eficaz, com diferentes colunas cromatográficas ativadas em diferentes caixas, evitando a necessidade de desmontar as colunas cromatográficas no trabalho diário de manutenção do instrumento.
• Purificador de hélio HP-2:
  GC-9560-HGUsando hélio de alta pureza como transportador, a pureza do hélio afeta diretamente a sensibilidade de detecção de impurezas de todo o instrumento. Os ensaios demonstraram que a pureza do gás transportador utilizado para a análise de gás de alta pureza é pelo menos um grau de quantidade maior do que a pureza básica da amostra de gás.
  O purificador de hélio tipo HP-2 é um purificador de gás exclusivo produzido pela VICI, cuja matriz de purificação é uma liga de adsorção não volátil, com uma camada de membrana de óxido na superfície das partículas de adsorção que precisa ser ativada por aquecimento, o processo de ativação deve ser concluído em um ambiente de vácuo ou gás inerte, permitindo que o hélio se espalhe livremente entre eles, evitando a formação de camadas de purificação de oxigênio e a adsorção de gases impuros. Os materiais adsorentes da HP apresentam boa estabilidade térmica, incluindo duas faixas de controle de temperatura.
  Gases purificáveis: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Pressão de funcionamento: 1000psi
  Remoção de gás: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Esperem.
  Concentração residual: ≤10ppb
• Sistema de correção de pressão de amostragem
  O espectrómetro tradicional usa o método de controle do fluxo na saída da válvula de amostragem para controlar o volume de amostragem dentro do tubo quantitativo, o teste provou que esse método tem um grande erro de análise.
  Analise o hidrogênio de alta pureza, por exemplo: o gás padrão é configurado para seis impurezas no hélio, enquanto o gás amostra é configurado para seis impurezas no hidrogênio; Como o peso molecular do hélio e do hidrogênio é diferente, a quantidade de amostragem no mesmo fluxo não é *.
  GC-9560-HGEquipado com um sistema de correção de pressão para superar o problema do volume de amostragem não * causado por diferentes gases de base, para garantir a precisão dos dados.
• Válvula de amostragem de volume sem morte
  O GC-9560-HG é equipado com uma válvula de amostragem dedicada com volume livre de morte, usando um método de amostragem com proteção de sopro, evitando eficazmente o problema de resíduos de ar e reduzindo o impacto do processo de amostragem na análise para um nível baixo.
• Válvula de redução de pressão para transporte de gás
  A válvula de redução de pressão comum, devido à presença de um grande volume morto, afeta diretamente a pureza do gás transportado após a saída da válvula de redução de pressão, causando uma alta concentração de impurezas no gás transportado, afetando assim o limite de detecção de todo o sistema.
  O GC-9560-HG é equipado com uma válvula de redução de pressão de gás de aço inoxidável com função de regulação de pressão de dois níveis, que melhora significativamente a estabilidade da pressão, garante a estabilidade da linha de base, ao mesmo tempo que reduz o volume morto no corpo da válvula e melhora ainda mais a sensibilidade da detecção.

GC-9560-HGGráfico de efeitos analíticos: